PVD и CVD
PVD против CVD
PVD (физическое осаждение из паровой фазы) и CVD (химическое осаждение из паровой фазы) - это две технологии, которые используются для создания очень тонкого слоя материала в подложке; обычно называемые тонкими пленками. Они используются в основном в производстве полупроводников, где очень тонкие слои материалов типа n и p-типа создают необходимые соединения. Основное различие между PVD и CVD - это процессы, которые они используют. Как вы, возможно, уже вывели из названий, PVD использует только физические силы для осаждения слоя, в то время как CVD использует химические процессы.
В PVD чистый исходный материал газифицируется путем испарения, применения высокоэнергетического электричества, лазерной абляции и нескольких других методов. Затем газифицированный материал конденсируется на материале подложки для создания желаемого слоя. Химических реакций не происходит во всем процессе.
В CVD исходный материал на самом деле не является чистым, поскольку его смешивают с летучим предшественником, который действует как носитель. Смесь впрыскивается в камеру, которая содержит субстрат и затем осаждается в нее. Когда смесь уже прилипает к субстрату, предшественник в конце концов разлагается и оставляет желаемый слой исходного материала в субстрате. Затем побочный продукт удаляют из камеры через поток газа. Процесс разложения может быть ускорен или ускорен с использованием тепла, плазмы или других процессов.
Независимо от того, осуществляется ли это с помощью CVD или PVD, конечный результат в основном такой же, как и оба они создают очень тонкий слой материала в зависимости от желаемой толщины. CVD и PVD - очень широкие методы с рядом более специфических методов. Фактические процессы могут быть разными, но цель одна и та же. Некоторые методы могут быть лучше в некоторых приложениях, чем другие, из-за стоимости, удобства и множества других причин; поэтому они являются предпочтительными в этой области.
Резюме:
- PVD использует физические процессы только тогда, когда CVD использует в основном химические процессы
- PVD обычно использует материал с чистым исходным материалом, в то время как CVD использует смешанный исходный материал
